多轴压电扫描仪(P-527)
主动轴: X,Y / X,Y,Z / X,Y,θZ
行程:Open-loop:250µm/X,Y:250µm Z:25µm/X,Y:250µmθ Z:±2.5mrad;Closed-loop:200µm/X,Y:200µmZ:20/X,Y:200µmθZ:±2mrad
集成传感器:Capacitive
刚性:1N/µm / X,Y: 1N/µm Z:15N/µm / 1N/µm
工作温度:-20~80℃
分辨率:Open-loop:0.5nm/X,Y:0.5nmZ:0.1nm/X,Y:0.5nmθZ:0.1µrad;Closed-loop:2nm/X,Y:2nmZ:0.1nm/X,Y:2nmθZ:0.3µrad
压电陶瓷:PICMA® P-885